當前位置:主頁 > 技術文章 > 導體電阻率測試儀的主要指標分享
導體電阻率測試儀的主要指標分享
時間:2018-10-27 點擊次數:714
   導體電阻率測試儀是根據四探針原理,適合半導體器材廠,材料廠用于測量半導體材料(片狀、棒狀)的體電阻率,方塊電阻(簿層電阻),也可以用作測量金屬薄層電阻,經過對用戶、半導體廠測試的調查,根據美國ASTM標準的規定,在電路和探頭方面作了重大的修改和技術上的許多突破,半導體電阻率測試儀更適合于半導體器材廠工藝檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要,成為普及型的電阻率測試儀,具有測量精度高,穩定性好,輸入阻抗高,使用方便、價格低廉等特點。

  導體電阻率測試儀的主要指標如下:

  1.測量范圍:電阻率10-3—103Ω-cm,分辯率為 10-4Ω-cm ,可擴展到105Ω-cm

  方塊電阻10-2—104Ω/□,分辯率為10-3Ω/□,可擴展到106Ω/□

  薄層金屬電阻10-4—105Ω,分辯率為10-4Ω

  2.可測半導體材料尺寸:直徑Φ15—Φ125mm; 長度:150mm(可擴展500mm)

  3.測量方式:軸向、斷面均可

  4.數字電壓表:(1)量程:20mV(分辯率:10μV)、200mV、2V

  (2)測量誤差:±0.3%讀數±1字

  (3)輸入阻抗:大于108Ω

  (4)顯示3 1/2 位紅色發光二極管(LED)數字顯示

  0---1999具有極性、過載、小數點、單位自動顯示

  5. 恒流源:由交流供電,具有良好的防泄漏隔離功能

  (1)直流電流:0—100mA連續可調

  (2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

  (3)分辯率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

  (4)電流誤差:±0.3%讀數±2字

  6.電性能模擬考核誤差:<±0.3%符合ASTM指標

  7 .測試探頭:(1)探針機械游移率:± 0.3% 符合ASTM 指標

版權所有 © 2019 寧波瑞柯偉業儀器有限公司 浙ICP備10053689號-4 技術支持:化工儀器網 管理登陸 GoogleSitemap

在線客服 聯系方式 二維碼

服務熱線

86-0574-27976124

掃一掃,關注我們